露光装置自体はオランダのASMLが世界市場を独占しているが、レーザーテックの手掛ける検査装置がなければ、EUV技術を使った最先端半導体を効率的に製造することはできない

不勉強ながらASMLは知っててもレーザーテックという企業のことまでは知りませんでした。 たしかに“検査”という手順を工程の合間々々に入れておかないと、問題が発生した時に切り分けができませんからね。 なるほど・・・と思った 続きを読む…